2023-03-20
氧化物薄膜機(jī)械牢固性強(qiáng),化學(xué)性能穩(wěn)定,折射率范圍寬,所以是一類極其重要的薄膜材料.它們的折射率和短波吸收限多數(shù)介于氟化物與硫化物之間.氧化物具有很高的熔點(diǎn),所以大多數(shù)材料都不易用電阻加熱蒸發(fā),而需用電子束加熱蒸發(fā).有些材料在加熱蒸發(fā)過(guò)程中,會(huì)與坩堝起反應(yīng)或在高溫時(shí)分解.為了改善所制備的氧化物薄膜的性能,所以有時(shí)也采用反應(yīng)蒸發(fā)技術(shù)和離子輔助淀積技術(shù)制備氧化物薄膜.離子輔助淀積的氧化物薄膜的折射率,在一定的離子能量范圍內(nèi)隨離子的能量增加而增加,對(duì)于Ta2O5薄膜(200~500eV),對(duì)于Al2O3薄膜