2023-01-30
磁控濺射鍍膜中,薄膜由于各種原因會產(chǎn)生內(nèi)應(yīng)力,不將其控制在合理的范圍內(nèi)會導(dǎo)致薄膜脫落等負(fù)面情況,大
大減少使用壽命.內(nèi)應(yīng)力通常由于產(chǎn)生因素不同,會出現(xiàn)'拉應(yīng)力’和“壓應(yīng)力'兩種情況,由于內(nèi)應(yīng)力產(chǎn)生因素較多
三鍍膜種類方式均有不同,本文對其產(chǎn)生因素做一個簡單概述,方便讀者在實際工作分析時有一個初步的判斷