背靶綁定是指用焊料將靶材與背靶焊接起來,主要有三種的方式:壓接、釬煌和導電膠,靶材綁定常用釬煜 釬
料常用In、Sn、ln -Sn,一般使用軟釬料的情況下,要求濺射功率小于20W/cm
為什么要綁定背靶?
1、防止靶材受熱不勻碎裂,例如ITO、SiO2、陶瓷等脆性靶材及燒結靶材;
2、節(jié)省成本,防止變形,如靶材太貴,可將靶材做薄些,綁定背靶以防止變形.
背靶的選擇
1、研諾信誠常用無氧銅,導電性好,無氧銅的導熱性比紫銅好:
2、厚度適中,一般建議背靶厚度3mm左右,太厚,消耗部分磁強;太薄,容易變形.
綁定過程1、綁定前將靶材和背靶表面預處理
2、將靶材和背靶放置在釬焊臺上,升溫到綁定溫度
3、將靶材和背靶金屬化
4、粘接靶材和背靶
5、降溫后處理
綁定靶材使用的注意事項
1、濺射溫度不宜太高
2、電流要緩慢加大
3、循環(huán)冷卻水應低于35攝氏度
4、適宜的靶材致密度
背板脫落的原因
1、濺射溫度高,背靶易被氧化和發(fā)生翹曲,靶材在高溫濺射時會開裂,造成背靶脫落。
2、電流太大,導熱太快造成溫度過高,焊料熔化,造成焊料不均勻,造成背靶脫落;
3、循環(huán)冷卻水出水口的溫度應低于35攝氏度,循環(huán)水溫度高,造成散熱不好而脫落。
4、靶材本身的致密度,靶材的致密度很高時,不易吸附,無空隙,背靶易脫落.
