一、什么是靶材綁定？靶材綁定的適用范圍、流程？
綁定是指用焊料將靶材與背靶焊接起來(lái)。主要有三種的方式：壓接、釬焊和導(dǎo)電膠。
1、壓接：采用壓條，一般為了提高接觸的良好性，會(huì)增加石墨紙、Pb或In皮。
2、釬焊：釬料常用In、Sn、In-Sn，一般在使用軟釬料的情況下，要求濺射功率小于20W/cm2。我公司采用銦焊綁定技術(shù)。
3、導(dǎo)電膠：采用的導(dǎo)電膠要耐高溫，厚度在0.02-0.05μm。
二、綁定的適用范圍
技術(shù)上來(lái)說(shuō)表面平整可進(jìn)行金屬化處理的靶材都可以用我公司銦焊綁定技術(shù)綁定銅背靶來(lái)提高濺射過(guò)程中的散熱性、提高靶材利用率。
建議綁定的靶材：
ITO，SiO2、陶瓷脆性靶材及燒結(jié)靶材；
錫、銦等軟金屬靶
靶材太薄、靶材太貴的情況等。
但下列情況綁定有弊端：
1、熔點(diǎn)低的靶材，像銦、錫等，金屬話的時(shí)候可能會(huì)變軟變形；
2、貴金屬材料，一是實(shí)際重量易出現(xiàn)分歧，二是金屬化以及解綁的時(shí)候都會(huì)有浪費(fèi)料，建議墊一片銅片。
三、背靶的選擇
對(duì)材質(zhì)的要求：一般選用無(wú)氧銅和鉬靶，厚度在3mm左右
導(dǎo)電性好：常用無(wú)氧銅，無(wú)氧銅的導(dǎo)熱性比紫銅好，我公司綁定背靶一般采用無(wú)氧銅
